(株)愛知洋行は1976年の創業以来、露点計・水分計など水分関連機器業界で、計器販売・修理・校正・メンテナンス等を業務としてまいりました。
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高純度ガス用微量水分分析計
高純度ガス用微量(ppbレベル)水分分析器 AquaVolt AquaVolt+
用途
›› 生産工程における工業用プロセスガス
›› 製品精製過程における工業用ガス
›› タンクや容器の充填作業
›› 空気圧系統の機器用空気
›› 溶接で使われるシールドガス
AquaVoltとAquaVolt+は、新しくMEECO製品ラインアップに加わったラックマウント方式の水分分析器です。使いやすいキーパッド、明るい電光表示管(VFD)、そして簡単なメニュー選択により目的の用途に応じて素早く操作できます。加えて、電気分解に基づくセンサーが信頼性と正確さをもたらしています。
AquaVolt+のその他の用途・半導体製造プロセス
・特殊ガス用アプリケーション
・移動カート用アプリケーション
・研究所 実験室
主な特徴
・モジュラー設計
・簡単なソフトウエアの更新
・測定単位が任意
・5つのボタンによる簡単操作
・明るくて読みやすいVFD(蛍光表示管)
・調節可能な出力スケール
・マスフローコントローラ
・直線性と性能をオンラインで確認
・CEマーク取得済
動作原理
・ファラデーの電気分解の法則に基づきAquaVoltのセンサーがppmまたはppbの単位で水分を吸収し、電気分解します。ガラス管内部に埋め込まれた2本の螺旋状の電極を取り巻く五酸化リン(P2O5)の膜にサンプル水分が100%吸収されます。
サンプルガスが特定の流量でセルに入ると膜が全ての水分を吸収します。電極に電圧を印加することによりそれぞれの水分子は電気分解し、有限電流を発生します。この電流は正確で吸収された水分の量に比例します。従って、サンプルガス中の水蒸気を正確に、直接的に計測します。
仕 様
AquaVolt
測定範囲 0 ～ 1,000ppmV
低域検出限界 1ppmV
測定精度 ±5%、または±0.4ppmのいずれか大きい方
電源電圧 100/240 Vac 50/60 Hz
信号出力 0 ～ 5Vdcまたは4 ～ 20mA
RS232 Communications Standard
アラーム セル故障用アラーム１台
水分レベル用可調節アラーム２台
インレット圧力 10 ～ 3,000 psig
環境温度 0℃ ～ 60℃
流量 1.1㍑／分 サンプルとバイパスの混合
ガス接続 1/8” compression
重量 11.34kg
外形寸法 48.3cm(W)×43.2cm(D)×17.7cm(H)
AquaVolt+
測定範囲 0 ～ 20ppmV
低域検出限界 35ppbV
測定精度 ±2%、または±20ppbのいずれか大きい方
電源電圧 100/240 Vac 50/60 Hz
信号出力 0 ～ 5Vdcまたは4 ～ 20mA
RS232 Communications Standard
アラーム セル故障用アラーム１台
水分レベル用可調節アラーム２台
インレット圧力 10 ～ 3,000 psig
環境温度 0℃ ～ 60℃
流量 1.1㍑／分 サンプルとバイパスの混合
ガス接続 1/4” VCR インレット
1/8” compression アウトレット
重量 11.34kg
外形寸法 48.3cm(W)×43.2cm(D)×17.7cm(H)
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塩素ガス中の水分測定用水分計 NastyBoy
用途
›› 生産工程における工業用プロセスガス
›› 製品精製過程における工業用ガス
›› タンクや容器の充填作業
›› 空気圧系統の機器用空気
›› 溶接で使われるシールドガス
NastyBoy(ナスティーボーイ)は、塩素ガス中の水分を測定する水分分析計です。水分検出部は円筒状になっており、その内壁に沿って2つの電極が並行して螺旋状に配置されています。この電極の上には五酸化リンが塗布されています。ガスが円筒の中を流れるとガス中の水分は五酸化リンに100%吸収されます。電極間に適当な電圧を印加すると、水分の電気分解が起こり、五酸化リンに吸収された水分は酸素と水素に分解され五酸化リンは再び水分を吸収できるように再生されます。このとき分解された水分に比例した電流が電極間に流れます。このことはファラデーの法則として知られています。このようにしてガス中の水分を測定することができます。
・ファラデーの法則
1833年にMichael Faradayが提案した電気分解の法則。電気分解で電極に生じる物質の量「m」は電荷の量「Q」に比例するというもの。(物質の種類には無関係)
Q=Fmz/M
Fはファラデー定数
zは電子電荷
Mは原子量
以上のような測定原理があるため、五酸化リンと化学的に反応する気体中の水分は測定できませんが、測定に当たり校正など一切必要ありませんので、たいへん優れた測定方法であるということができます。
仕 様
・測定精度 測定値の±5%または0.4ppmのいずれか大きい方
・測定出力 4-20mA 最大負荷475Ω （外部電源24V時）
・バイパス流量 0～1 ㍑/分
・サンプル流量 0.1㍑/分
・測定レンジ 0～20ppm または 0～200ppm 注文時に指定のこと
・最小測定水分値 1ppm
・応答性 1ppmから10ppmの桁変化に対し５分以内に95%
・印加ガス圧力 0.2～3.5Kg/cm2
・電 源 100VAC 15W
塩素液化防止のためのヒーターが内蔵されており、このヒーター加熱のための電源です。
24VDC 0.5A
この電源はお客様にご用意頂く電源で4-20mA出力のため必要となります。表示オプ
ションをご注文されてもこの電源は必要となります。装置に内蔵されてはおりません。
・操作環境温度 -10～60℃
・配管材質 KynarTM、TeflonTM、ガラス、ステンレス
・重 量 約8Kg
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ポータブル水分分析計 WaterBoy2
用途
›› 生産工程における工業用プロセスガス
›› 製品精製過程における工業用ガス
›› タンクや容器の充填作業
›› 空気圧系統の機器用空気
›› 溶接で使われるシールドガス
MEECOのWaterBoy2は、コスト効率の良いソリューションを提供する、信頼のできる持ち運び可能な水分分析器です。長年の実績を持つ電気分解技術を採用することによってマイクロプロセッサーを使った電子技術を取り入れています。
シンプルな3つのボタンによるインターフェイスは表示の切り替えを楽にします。1つのボタンを押すだけで5つの表示から好きなものを選ぶことができます。モジュラー設計と頑丈な作りは現場作業に最適です。110Vac変圧器に加え、充電式24Vdc鉛酸バッテリーを内蔵しています。オプションのRS-232ポートを使ってデータをプリンタやコンピュータなどに送ることができます。
動作原理
・ファラデーの電気分解の法則に基づきAquaVoltのセンサーがppmまたはppbの単位で水分を吸収し、電気分解します。ガラス管内部に埋め込まれた2本の螺旋状の電極を取り巻く五酸化リン(P2O5)の膜にサンプル水分が100%吸収されます。
サンプルガスが特定の流量でセルに入ると膜が全ての水分を吸収します。電極に電圧を印加することによりそれぞれの水分子は電気分解し、有限電流を発生します。この電流は正確で吸収された水分の量に比例します。従って、サンプルガス中の水蒸気を正確に、直接的に計測します。
主な特徴
・測定単位が任意
・簡単にパラメーターを設定できる液晶ディスプレイ
・3つのボタンによる簡単操作
・調節可能な出力スケール
・直線性と性能をオンラインで確認
・CEマーク取得済
仕様
・ユーザインタフェイス ３つのボタンによるタッチパッド
・表示器精度 3/8インチ高ディジット液晶パネル（１行、英数字16文字）
・表示オプション ppmV、ppmW（分子量の入力が必要）、℃、°F、露点及びlbs/mmscf
・電源電圧 充電式24Vdc鉛酸バッテリを内蔵（室温での通常操作で５日間相当）
外部入力：メーカー供給110Vac壁掛け式変圧器
オプション外部入力：24Vdc±10%、1/2amp
・信号出力 0 ～ 1Vdc、2kΩもしくはそれ以上
RS232（オプション）
・インレット圧力範囲* WaterBoy2 Model3200または3500：50 ～ 3,000psig
WaterBoy LP2 Model3260：5 ～ 100psig
・動作環境温度 -20℃ ～ 60℃
・測定精度 ±5%、または±0.4ppmのいずれか大きい方
・測定範囲 0 ～ 1,000ppmV、0.1ppm解像度（100ccフローユニット）
0 ～ 5,000ppmV、1ppm解像度（10ccフローユニット）
・取り付け及び接続 1/8 compression
・重量 7.7kg
・低域検出限界 1ppmV
・サンプル流量 10 sccmまたは100 sccm
sccm：standard cubic centimeter per minutes
=0.1㍑
・バイパス流量 1,000 scccm
・認可 CEマーク取得済み、FM承認取得済み
クラス１、ディビジョン２、非発火物
・適合ガス メーカーにお問い合わせください
*100psig以下のサンプルガス インレット圧力に対応するModel F3260 WaterBoy LP2を用意しています。
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アンモニアガス中の水分測定用水分計 ALOHA+分析計
>>> ALOHA+分析計は、高純度アンモニアガス中のリアルタイム水分分析のための水分計です。
>>> 高純度LEDアプリケーションにおいて使用されてきた水分分析計より、五分の１程度まで
>>> 検出限界を下げることが可能となり、より高品質なアンモニアガスの供給が可能となります
仕様
性能
最小検出限界* ： 2ppb(NH3ガス中のH2O）
感度* ： 1.6ppb
精度* ： 測定値の3 %又は±検出限界の1/2（どちらか大きい方）
応答速度（標準的）* ： 95 %応答で3分未満
動作範囲 ： 0～20 ppm(NH3ガス中のH2O）
環境条件 ： 10℃～40℃
保管温度 ： －10℃～＋50℃
構造材 ： 316Lステンレス鋼
接ガス部 ： 10 Ra表面仕上げ
ガス接続 ： 1/4 M VCR
入口及び出口漏れテスト ： < 2×10-8 mbar・l/sec
電気
警報表示 ： 設定点はユーザーが設定可能
必要電源 ： AC 90～240 V、50/60 Hz
消費電力 ： 最大200 W
出力信号 ：
－レコーダ 遮断されたDC 4～20 / 0～50 V
－警報 C形リレー
通信 ： RS-232、無線（オプション）
ユーザー・インターフェース： 10.4” カラーVGAスクリーン PS/2マウス及びキーボード接続
10/100/1000 Base-T イーサネット、2USBポート、RS-232
寸法・重量
本体（H×W×D） ： 356×483×356mm 、14.5kg
センサーユニット ： 222×483×686mm、17.2kg
サンプル入口圧力 ： 10～125 psig
流量 ： 0.5～1.8 slpm（ガスによって変わります。）
サンプル・ガス ： NH3（アンモニア）大部分の不活性ガス
サンプル・ライン温度 ： 60℃まで
技術
承認 ： CE: LVD & EMC
方法 ： キャビティリングダウン分光法（Cavity Ring-Down Spectroscopy）
特許 ： 米国特許第5,528,040号 その他特許申請中[1]
